麥氏真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計，其基本原理如圖1所示。真空計內(nèi)部有兩個空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。
 

　　如果p1和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要準確地測量真空度，需要隔膜更薄。可是，如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容真空計。在隔膜兩側(cè)分別設置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容真空計，進一步提高了測量精度和范圍。
 

　　隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。
 

　　麥氏真空計測量的真空度與氣體成分無關，反應快、重復性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。
 

　　選用麥氏真空計時應該注意以下事項：
 

　　(1)在設備要求的壓強范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度;
 

　　(2)被測氣體是否會對真空計造成損傷;
 

　　(3)真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響;
 

　　(4)真空計所測壓強是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關;
 

　　(5)真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應時間如何;
 

　　(6)真空計的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。